Æ÷Ç׽ô °æ»óºÏµµ, Æ÷Ç×°¡¼Ó±â¿¬±¸¼Ò(PAL)°ú °øµ¿À¸·Î 24ÀÏ Æ÷Ç×°¡¼Ó±â¿¬±¸¼Ò °¡¼Ó±â°úÇаü¿¡¼ ‘2021 Á¦3ȸ °¡¼Ó±â ±â¹Ý ±×¸°½Å¼ÒÀç»ê¾÷ ±¹Á¦½ÉÆ÷Áö¾ö’À» ¼ºÈ²¸®¿¡ °³ÃÖÇß´Ù.

Äڷγª19ÀÇ È®»ê¿¡ µû¶ó À¯Åõºê »ýÁß°è ¹æ½Ä°ú ÇöÀå¿¡¼ µ¿½Ã ÁøÇàÇÑ ½ÉÆ÷Áö¾öÀº ‘Â÷¼¼´ë Àü°íü ÀÌÂ÷ÀüÁö’¸¦ ÁÖÁ¦·Î Â÷¼¼´ë ÀÌÂ÷ÀüÁö ¿¬±¸¿¡ ´ëÇÑ Çа跻ê¾÷°èÀÇ ´Ù¾çÇÑ Á¤º¸ ±³·ù¸¦ ¸ñÀûÀ¸·Î ±âȹµÆ´Ù.
Æ÷Ç×½Ã¿Í °æ»óºÏµµ´Â ¹æ»ç±¤À» ÀÌ¿ëÇÑ ½Å¼ÒÀç ¹× ¹èÅ͸® °³¹ßÀ» À§ÇÑ ½Å»ê¾÷ âÃâÀ» À§ÇØ 2018³âºÎÅÍ ¸Å³â °¡¼Ó±â°¡ ÀÖ´Â Æ÷Ç׿¡¼ ±¹Á¦ ½ÉÆ÷Áö¾öÀ» °³ÃÖÇϰí ÀÖ´Ù.
ÀÌÂ÷ÀüÁö ¿¬±¸¿¡¼ ¹æ»ç±¤ °¡¼Ó±âÀÇ ¿ªÇÒÀº ÀϹݽÇÇè½Ç¿¡¼ ºÒ°¡´ÉÇÑ ´Ù¾çÇÑ ½ÇÇè±â¹ýÀ» Àû¿ëÇØ Â÷¼¼´ë ÀüÁö¼¿ÀÇ ³»ºÎ ±¸Á¶¸¦ ºñÆÄ±« ¹× ¿øÀÚ ¼±ÅÃÀûÀ¸·Î ºÐ¼®, ½Ç½Ã°£ ³»ºÎ±¸Á¶ÀÇ º¯È¸¦ °üÂûÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
½ÉÆ÷Áö¾ö¿¡¼´Â ¹èÅ͸® °ü·Ã ÇØ¿Ü ¼±Áø ¿¬±¸ÀÚµéÀÇ °æÇè°ú ÃֽŠ¿¬±¸µ¿ÇâÀ» ºÐ¼®ÇÏ°í °øµ¿ ¿¬±¸°³¹ßÀ» ÃßÁøÇϸç, °æºÏÁö¿ªÀÇ ±×¸° ½Å¼ÒÀç ºÐ¾ß »ê¾÷Ŭ·¯½ºÅÍ Á¶¼ºÀ» À§ÇÑ ´Ù¾çÇÑ Àǰ߼ö·Å°ú Áö¿ª ¿¬±¸ÀÚ ¿ª·® °È¸¦ À§ÇØ ³ë·ÂÇØ ¿Ô´Ù.
À̰´ö Æ÷Ç×½ÃÀåÀº “Æ÷Ç׽ô °¡¼Ó±â ±â¹Ý ½Å¾à°³¹ß ÇÁ·ÎÁ§Æ®, ¼¼Æ÷¸·´Ü¹éÁú¿¬±¸¼Ò, ¹ÙÀÌ¿À¿ÀÇÂÀ̳뺣À̼Ǽ¾ÅÍ µîÀÌ ±¸ÃàµÅ ÀÖÀ¸¸ç, Â÷¼¼´ë ¹æ»ç±¤°¡¼Ó±â ±¸Ãà »ç¾÷°ú EUV ±¤¿ø ¹× Áø´ÜÀåÄ¡ ±¸Ãà»ç¾÷ µîÀ» ÃßÁøÇϰí ÀÖ´Ù”¸ç, “±¹³» À¯ÀÏ ÃÖ÷´Ü ºÐ¼®ÀåºñÀÎ ¹æ»ç±¤°¡¼Ó±â¸¦ º¸À¯ÇÑ µµ½Ã·Î¼ ½ÉÆ÷Áö¾ö¿¡¼ Á¦½ÃµÈ ÀǰßÀÌ ÃæºÐÈ÷ ¹Ý¿µµÉ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÃÖ¼±À» ´ÙÇϰڴٔ¶ó°í ÀüÇß´Ù.
À̹ø ½ÉÆ÷Áö¾ö¿¡¼´Â 11¸íÀÇ ±¹³»¿Ü Àü¹®°¡µéÀÌ Â÷¼¼´ë ¹èÅ͸® °³¹ßÀ» À§ÇÑ ´Ù¾çÇÑ ¿¬±¸°á°ú¸¦ ¼Ò°³Çß´Ù. ¶ÇÇÑ °¡¼Ó±â »ê¾÷ü È«º¸ºÎ½º°¡ ¼³Ä¡µÅ °¡¼Ó±â ¼ÒºÎÀå(¼ÒÀç·ºÎǰ·Àåºñ)±â¾÷üÀÇ Á¤º¸°øÀ¯¿Í »ê¾÷ À°¼º ¹× Æ÷Ç× À¯Ä¡ÀÇ ¹ßÆÇÀ» ´Û¾Ò´Ù.
À̳¯ ÁÖÁ¦ ¹ßÇ¥¿¡¼´Â ¡â¿µ±¹ ¿Á½ºÆ÷µå´ëÇб³ ¿ïÇÁ½¼ ¿¡³ÊÁö°úÇм¾ÅͼÒÀåÀÎ ÇÇÅÍ ºÎ¸£½º ±³¼ö°¡ ‘¸®Æ¬ À̿ ¹èÅ͸® Ȱ¿ëÀ» À§ÇÑ »ê¼Ò-»êÈȯ¿ø À½±Ø’À̶ó´Â ÁÖÁ¦·Î, ¡â¹Ì±¹ ÄÚ³Ú´ëÇб³ Á¶¾Ù µð ºê·Ï ±³¼ö°¡ ‘¹æ»ç±¤ °¡¼Ó±â¿¡¼ in situ SAXS* ¹× WAXS **¸¦ ÅëÇÑ »óºÎ ±¸Á¶·ÎÀÇ ³ª³ë ÀÔÀÚ ÀÚü Á¶¸³ ·Îµå¸Ê °³¹ß’À̶ó´Â ÁÖÁ¦·Î °¡¼Ó±â ±â¹Ý ÷´Ü ºÐ¼®±â¼ú Ȱ¿ë »ç·Ê¸¦ ¼Ò°³Çß´Ù.
* in situ SAXS(Small Angle X-ray Scattering) : ½Ç½Ã°£À¸·Î ÀÛÀº °¢µµ¿¡¼ »ê¶õÇÑ X¼± °µµ¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ´Â ¹æ¹ý
** in situ WAXS(Wide Angle X-ray Scattering) : ½Ç½Ã°£À¸·Î ³ÐÀº °¢µµ¿¡¼ »ê¶õÇÑ X¼± °µµ¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ´Â ¹æ¹ý
À̿ܿ¡µµ È£ÁÖ ´º»ç¿ì½º¿þÀÏÁî´ëÇб³, ¹Ì±¹ ·Î·»½º ¹öŬ¸® ±¹¸³¿¬±¸¼Ò, ¾Æ¸£°ï ±¹¸³¿¬±¸¼Ò, ¿µ±¹ ´ÙÀ̾Ƹóµå ±¤Çבּ¸¼Ò¸¦ ºñ·ÔÇØ ¼¿ï´ë, °í·Á´ë, ¼º±Õ°ü´ë, Æ÷Ç×»ê¾÷°úÇבּ¸¿ø, ±¤ÁÖ°úÇбâ¼ú¿ø µî ±¹³»¿Ü ´Ù¾çÇÑ ´ëÇаú ¿¬±¸¼ÒÀÇ Àü¹®°¡µéÀÌ °¡¼Ó±â¸¦ Ȱ¿ëÇÑ ÀÌÂ÷ÀüÁö ¼º´É°ú ¾ÈÁ¤¼ºÀ» Çâ»ó ½Ãų ¼ö ÀÖ´Â ¿¬±¸°á°ú¸¦ ¹ßÇ¥ÇÏ°í °¿¬Çß´Ù.
À̳¯ ½ÉÆ÷Áö¾ö¿¡´Â °¡¼Ó±â »ê¾÷ Ȱ¼ºÈ À¯°øÀÚ¿¡ ´ëÇÑ Ç¥Ã¢ÆÐµµ ¼ö¿©Çß´Ù. ǥâÆÐ´Â Æ÷½ºÄÚÄɹÌÄà ÀÓÀ±Å¹ Àü¹®¿¬±¸¿øÀÌ °¡¼Ó±â¸¦ Ȱ¿ëÇÑ ¹Ú¸·ÀüÁö °³¹ß°ú ź¼Ò¼ÒÀç ÀÚ¿ø ÀçȰ¿ë ±â¼ú°³¹ß¿¡ ±â¿©ÇÑ °ø·Î¸¦ ÀÎÁ¤¹Þ¾Æ °æ»óºÏµµ µµÁö»ç ǥâÆÐ¸¦, ¿¡ÄÚÇÁ·Îºñ¿¥ Áö´ëÇÏ Àü¹«°¡ °¡¼Ó±â¸¦ Ȱ¿ëÇÑ Áö¿ªÀÇ ÀÌÂ÷ÀüÁö »ê¾÷ ¹ßÀü°ú ±â¾÷ °æÀï·Â °È¿¡ ±â¿©ÇÑ °ø·Î·Î Æ÷Ç×½ÃÀå ǥâÆÐ¸¦ ¼ö»óÇß´Ù.